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ナノ表面界面工学領域のホームページへようこそ!

この研究室は、令和5年4月に大阪大学 大学院 工学研究科 物理学系専攻 精密工学コース 内に開設された、比較的新しい研究室です。私たちは、一言でいうと、半導体実用表面のサイエンスを深く究めることにより、次世代グリーンデバイスの創製など、“ものづくり”分野の未来に貢献することを目指しています。

極限精度のものづくり技術を実現するためには、固体と液体、及び、固体と気体(プラズマなど)の界面における相互作用を原子・分子レベルで理解し、サイエンスに基づいて制御することが不可欠です。当研究室では、原子配列が可視化できる顕微鏡や表面数原子層に感度を持つ表面敏感な分光分析法を駆使して、超精密な表面計測の研究を行います。また、新奇のエッチング現象を活用した高性能半導体ナノ材料の創出や、新しい表面プロセスの開発にも取り組んでいます。上記の研究を進めるにあたり、実験と量子力学に基づく高精度シミュレーションの両方を組み合わせることにより、生産技術の飛躍的な高度化、さらには、クリーンで快適なエネルギー利用社会の実現に貢献したいと考えています。

この度、ウェブサイトも一新しました。学生さんの若い力と、多様な国籍を持つ留学生の視点を結集すると共に、産官学の共同研究を推し進めることにより、当該分野の拠点を打ち立てるべく、スタッフ一同張り切っています。どうぞ、よろしくお願いします。

超高真空・極低温型の走査型プローブ顕微鏡

大規模量子力学計算

スタッフ打ち合わせの様子

ウルトラクリーンルーム(Class 1)での実験風景